中国国家电子级超纯水规格gb/t11446.1-凯发官方首页

电阻率
25℃
mω*cm

硅
≤μg/l

铜
≤μg/l

锌
≤μg/l

镍
≤μg/l

钠
≤μg/l

钾
≤μg/l

氯
≤μg/l

>1μm颗粒
≤个/ml

**
≤个/ml

硝酸根
≤g/l

磷酸根
≤μg/l

硫酸根
≤μg/l

toc
≤μg/l

ew-i

≥18*

2

0.2

0.2

0.1

0.5

0.5

1

0.1

0.01

1

1

1

20

ew-ii

≥15 **

10

1

1

1

2

2

1

5

0.1

1

1

1

100

ph
25℃

电导率
25℃μs/cm

比电阻25℃
mω*cm

可氧化物质
以(o)计 mg/l

吸光度
254nm,1cm

蒸发残渣 mg/l
(105±25℃)

可溶性硅
以(sio2)计,mg/l

上等

——

≤0.1

≥10

——

≤0.001

——

＜0.01

二级

——

≤1.0

≥1

＜0.08

≤0.01

≤1.0

＜0.02

三级

5.0-7.5

≤5.0

≥0.2

＜0.40

——

≤2.0

——

比电阻25℃
mω*cm

氧化矽
mg/l.max

重金属
mg/l.max

kmno4**
分.min

钠
mg/l.max

氨
mg/l.max

微生物

ph值

cap-ⅰ

≥10

0.01

0.01

60

0.1

0.1

微少

6.0-7.0

cap-ⅱ

0.5

0.01

0.01

60

0.01

0.01

微少

6.0-7.0

cap-ⅲ

0.2

0.01

0.01

60

0.1

0.1

微少

6.0-7.0

nccls

≥10

0.05

——

——

——

——

10

——